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广东汇成真空科技股份有限公司
进入展位一种金属箔带卷绕式真空镀膜连续生产线,包括镀膜室,分前后两段,前后段各腔室的一侧面对应都开了窗口,对应于各窗口的机架一侧,各设有垂直于机架的轨道;前段置平面矩形阴极电弧源装置,包括靶材和移动小车,靶材固定在移动小车立面板上且位于支承抽屉盒内;移动小车行走在垂直轨道上、上面设有由框架和立面板组成的密封门托架,立面板朝向窗口方向的面为密封面与窗口的窗框对应密封设计,立面板上固定着伸向窗口的槽型的支承抽屉;后段置旋转柱状中频磁控贱射靶装置,包括溅射靶和移动小车组件,溅射靶固定在立面板上且位于支承抽屉盒内;通过移动小车使靶材和溅射靶分别推入或拉出各腔室。本实用新型镀膜镀层颜色均匀稳定且工艺过程可靠。
一种金属箔带卷绕式真空镀膜连续生产线,包括镀膜室,分前后两段,前后段各腔室的一侧面对应都开了窗口,对应于各窗口的机架一侧,各设有垂直于机架的轨道;前段置平面矩形阴极电弧源装置,包括靶材和移动小车,靶材固定在移动小车立面板上且位于支承抽屉盒内;移动小车行走在垂直轨道上、上面设有由框架和立面板组成的密封门托架,立面板朝向窗口方向的面为密封面与窗口的窗框对应密封设计,立面板上固定着伸向窗口的槽型的支承抽屉;后段置旋转柱状中频磁控贱射靶装置,包括溅射靶和移动小车组件,溅射靶固定在立面板上且位于支承抽屉盒内;通过移动小车使靶材和溅射靶分别推入或拉出各腔室。本实用新型镀膜镀层颜色均匀稳定且工艺过程可靠。